不銹鋼蝕刻工藝規(guī)范

(1)不銹鋼蝕刻工藝過(guò)程:預(yù)處理、防蝕層制作一裝掛-活化-蝕刻-流動(dòng)水洗-光化處理-流動(dòng)水洗-檢查-清理防蝕層-干燥-下掛-檢查-轉(zhuǎn)下工序(或包裝人庫(kù))。

(2)主要工序要求如下所述。

①預(yù)處理:按不銹鋼預(yù)處理工藝規(guī)范進(jìn)行。

②防蝕層制作:刻劃法按刻劃法工藝規(guī)范進(jìn)行;感光法按感光法工藝規(guī)范進(jìn)行;絲印法按絲印工藝規(guī)范進(jìn)行;激光光刻法按激光光刻工藝規(guī)范進(jìn)行。

③裝掛:根據(jù)蝕刻方法的不同選擇合適的裝掛方式。裝掛時(shí)應(yīng)牢固，保證工件不相互貼合、碰撞。裝掛位置適當(dāng)，盡量避免在化學(xué)處理時(shí)產(chǎn)生氣囊，保證蝕刻的均勻性。如是采用傳 輸式蝕刻設(shè)備進(jìn)行蝕刻則不需要裝掛，但要采用合適的工裝，防止在噴射時(shí)使工件移位而影響蝕刻的進(jìn)行。

④活化按表4一9進(jìn)行。

⑤蝕刻:圖文蝕刻和噴淋式蝕刻按表4一10進(jìn)行，浸泡蝕刻按表4一11進(jìn)行。

      對(duì)于垂直蝕刻的工件要定時(shí)將上下位置對(duì)換，在蝕刻過(guò)程中要注意檢查蝕刻深度的變化， 在蝕刻到深度的80%左右時(shí)，應(yīng)取出工件測(cè)量深度，然后再確定余下的蝕刻時(shí)間。對(duì)于深度不高的臺(tái)階及圖文蝕刻、可根據(jù)預(yù)先工藝試驗(yàn)確定的時(shí)間進(jìn)行。 對(duì)多臺(tái)階蝕刻要分次進(jìn)行，對(duì)于深度不大的圖形多臺(tái)階蝕刻防蝕層制作推薦采用激光光刻法。防蝕層制作采用多次蝕刻、多次光刻的方法進(jìn)行。

⑥光化處理按表4一12進(jìn)行。

⑦檢查:這一步主要是檢查蝕刻深度、蝕刻表面的效果是否符合工藝要求，并同時(shí)檢查防 蝕層有無(wú)異常。

⑧退除防蝕層:絲印、感光或激光光刻法制作的防蝕層可采用有機(jī)溶劑，以及5%一10% 的氫氧化鈉溶液進(jìn)行清理;刻劃法制作的防蝕層可直接剝除，對(duì)于厚度不大的工件在剝除過(guò)程 中應(yīng)注意防止工件變形。

⑨干燥:在60℃一80℃的干燥箱(室)內(nèi)干燥。

⑩卸掛:卸掛時(shí)應(yīng)戴干凈的細(xì)紗手套，在以后各工序，操作人員都應(yīng)戴干凈的細(xì)紗手套。 

(3)溶液配制與調(diào)整如下所述。

①溶液的配制方法:略。

②溶液成分的分析項(xiàng)目及分析周期見(jiàn)表4一13.

（4）常見(jiàn)故障的產(chǎn)生原因及排除方法見(jiàn)表4-14